ЖОҒАРЫ ЭНТРОПИЯЛЫ ҚОРЫТПАЛАРДАН ЖАБЫНДАРДЫҢ МЕНШІКТІ КЕДЕРГІСІН АНЫҚТАУ

Жоғары энтропиялы қорытпалар жабынының меншікті кедергісін анықтау үшін төрт зондты әдісті қолдану үшін, тот баспайтын болаттан жасалған алтыбұрышты үлгіге орналастырылған зондтар арасындағы потенциалдар айырмасын өлшеу негізінде меншікті кедергіні анықтау кезінде түзету функциялары есептелді. өткізгіш жабын. Өткізбейтін орта (ауа) бар шекаралардың болуы және өткізгіш жабыны бар өткізгіш субстраттың болуы ескерілді. Есептеу үшін айнадағы бейнелер әдісі қолданылды. Жұқа жабыны бар алтыбұрышты үлгі үшін түзету функциялары алынған.

1. Valdes L.B. Resistivity Measuremants on Germanium for Transistors // Proc. IRE. Feb. 1954. Vol. 42. P. 420–427.

2. Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. - М.: Высшая школа, 1987. - 239 с.

3. Поклонский Н.А., Белявский С.С., Вырко С.А., Лапчук Т.М. Четырехзондовый метод измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов. – Минск: изд. БелГУ, 1998, - 48 с.

4. Bowler N. Four-point potential drop measurements for materials characterization. Topical Review // Measurement Science and Technolody. 2011. 22, 012001. P. 1–11.

5. Бурлаков Р.Б., Ковивчак В.С. К вопросу об измерении удельного сопротивления проводящих слоев четырехзондовым методом // Вестн. Омского. ун-та. 2014. № 2. С. 59–68.