ОПРЕДЕЛЕНИЕ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ВЫСОКОЭНТРОПИЙНЫХ СПЛАВОВ

С целью использования четырехзондового метода для определения удельного сопротивления покрытия из высокоэнтропийных сплавов, проведены расчеты поправочных функций при определении удельного сопротивления на основе измерении разности потенциалов между зондами, размещенными на образце шестигранной формы из нержавеющей стали, покрытом проводящим покрытием. Учитывалось наличие границ с непроводящей средой (воздухом) и наличие проводящей подложки, на которую нанесено проводящее покрытие. Для расчета использовался метод зеркальных отображений. Получены поправочные функции для шестигранного образца с тонким покрытием.

1. Valdes L.B. Resistivity Measuremants on Germanium for Transistors // Proc. IRE. Feb. 1954. Vol. 42. P. 420–427.

2. Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. - М.: Высшая школа, 1987. - 239 с.

3. Поклонский Н.А., Белявский С.С., Вырко С.А., Лапчук Т.М. Четырехзондовый метод измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов. – Минск: изд. БелГУ, 1998, - 48 с.

4. Bowler N. Four-point potential drop measurements for materials characterization. Topical Review // Measurement Science and Technolody. 2011. 22, 012001. P. 1–11.

5. Бурлаков Р.Б., Ковивчак В.С. К вопросу об измерении удельного сопротивления проводящих слоев четырехзондовым методом // Вестн. Омского. ун-та. 2014. № 2. С. 59–68.