koz"Вестник Северо-Казахстанского университета имени Манаша Козыбаева"Bulletin of Manash Kozybayev North Kazakhstan University2958-003X2958-0048М. Қозыбаев атындағы СҚУkoz-248Research ArticleЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИNATURAL SCIENCESМАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ КАДМИЯ НА МОЛИБДЕНMAGNETRON SPUTTERING OF CADMIUM ONTO MOLYBDENUMНурхановЧ. А.NurkhanovC. A.

Петропавловск

Petropavlovsk

УсеиновБ. М.UseinovB. M.

Петропавловск

Petropavlovsk

СКГУ им. М. КозыбаеваКазахстанNKSU named after M. KozybaevKazakhstan20201308202101 (46)1218Copyright © Нурханов Ч.А., Усеинов Б.М., 20212021Нурханов Ч.А., Усеинов Б.М.Nurkhanov C.A., Useinov B.M.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://vestnik.ku.edu.kz/jour/article/view/248

В работе были рассмотрены соединения Mo-Cd полученные путем осаждения в ионноплазменной установке. Для этого используется метод получения покрытий с нанокристалической структурой с применением ионно-плазменного напыления металлов с последующим осаждением на подложку в виде островковых плёнок. Получены принципиально новые покрытия на основе молибденакадмия Mo-Cd. Впервые получен синтез Mo-Cd при температуре не выше 100 ° С и был осуществлен с использованием термофлютинационного эффекта плавления. Для изучения структуры монокристаллических образцов с помощью спектроскопии обратного рассеяния Резерфорда использовался эффект каналирования. На основе анализа спектров, полученных при различных ориентациях пучка ионов по направлениям каналирования можно получить информацию о кристаллическом совершенстве исследуемого образца. Из анализа величины поверхностного пика, являющегося следствием прямого столкновения ионов с поверхностными атомами, можно получить информацию о структуре поверхности, например, о наличии на ней перестроек, релаксаций и адсорбатов. Эксперименты проводились на рентгеновском дифрактометре, электронном микроскопе и криогенной установке.

In this paper, Mo-Cd compounds obtained by deposition in an ion-plasma installation were considered. For this purpose, a method is used for obtaining coatings with a nanocrystal structure using ion-plasma deposition of metals, followed by deposition on the substrate in the form of island films. Fundamentally new coatings based on molybdenum-cadmium Mo-Cd were obtained. For the first time, mo-Cd synthesis was obtained at a temperature not higher than 100 ° C and was carried out using the thermoflutination melting effect. The channeling effect was used to study the structure of single-crystal samples using Rutherford backscattering spectroscopy. Based on the analysis of the spectra obtained at different orientations of the ion beam in the channeling directions, it is possible to obtain information about the crystal perfection of the studied sample. From the analysis of the value of the surface peak, which is the result of a direct collision of ions with surface atoms, you can get information about the structure of the surface, for example, about the presence of rearrangements, relaxations and adsorbates on it. The experiments were performed using an x-ray diffractometer, an electron microscope, and a cryogenic unit.

ионно-плазменное папылениеэффект каналированиямолибден-кадмийостровковые плёнкирентгеновский дифрактометрэлектронный микроскопкриогенная установкаion-plasma depositionchanneling effectmolybdenum-cadmiuminsular filmsx-ray diffractometerelectron microscopecryogenic installationReferencesBenhenda S., Guglielmacci J.M., Gillet M., Hultman L., Susgren J.-E. Effect of substrate bias on the protective properties of TiN films grown by reactive magnetron sputtering onto Cu substrates// Appl. Surface Sci.-1989.-Vol.40,-№1-2.-P.121-128.Benhenda S., Guglielmacci J.M., Gillet M., Hultman L., Susgren J.-E. Effect of substrate bias on the protective properties of TiN films grown by reactive magnetron sputtering onto Cu substrates// Appl. Surface Sci.-1989.-Vol.40,-№1-2.-P.121-128.Тулеушев А.Ж., Володин В.Н., Тулеушев Ю.Ж., Жаканбаев Е.А. Новое соединение Ta3Pb: получение, структура и свойства. // Ядерная и радиационная физика, Матер. 4-ой Межд. конф., 15-17 Алматы, 2004г. - с.270-276.Тулеушев А.Ж., Володин В.Н., Тулеушев Ю.Ж., Жаканбаев Е.А. Новое соединение Ta3Pb: получение, структура и свойства. // Ядерная и радиационная физика, Матер. 4-ой Межд. конф., 15-17 Алматы, 2004г. - с.270-276.Wronski C.R.M. The size dependence of the melting point of small particles of tin // Brit. J. Appl. Phys.-1967.-Vol.18, № 12.-Р.1731-1737.Wronski C.R.M. The size dependence of the melting point of small particles of tin // Brit. J. Appl. Phys.-1967.-Vol.18, № 12.-Р.1731-1737.Белый А.В., Карпенко Г.Д. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. – М.: Машиностроение, 1991.Белый А.В., Карпенко Г.Д. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. – М.: Машиностроение, 1991.Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий (Обзор зарубежной литературы за 1979-1983 гг.) // Технология легких сплавов.−№ 10.−1984.Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий (Обзор зарубежной литературы за 1979-1983 гг.) // Технология легких сплавов.−№ 10.−1984.Hill R.G., Cormia R., McLeod P. High rate magnetron sputtering// Proc. 7th Int. Vac. Congr. and 3rd Int. Conf. Solid. Surfaces, Vienna.-1977.-Vol.2,P.1583-1586.Hill R.G., Cormia R., McLeod P. High rate magnetron sputtering// Proc. 7th Int. Vac. Congr. and 3rd Int. Conf. Solid. Surfaces, Vienna.-1977.-Vol.2,P.1583-1586.Электронный ресурс – сайт производителя техники JEOL: http://jeolrus.com/products/d_products/jem-2100/index.html.Электронный ресурс – сайт производителя техники JEOL: http://jeolrus.com/products/d_products/jem-2100/index.html.Johansson B.O., Sudgren J.-E., Hentzell H.T.G., Karlsson S.-E. Influence of substrate shape on TiN films preparared by reactive sputtering// Thin. Solid. Films.-1984.-Vol.111,№4.-P.313-322.Johansson B.O., Sudgren J.-E., Hentzell H.T.G., Karlsson S.-E. Influence of substrate shape on TiN films preparared by reactive sputtering// Thin. Solid. Films.-1984.-Vol.111,№4.-P.313-322.Stowell M.J. The Solid-Liquid Interfacial Free Energy of Lead from Supercooling Data // Phil. Mag.- 1970.-Vol.22, №176.-Р.1-6.Stowell M.J. The Solid-Liquid Interfacial Free Energy of Lead from Supercooling Data // Phil. Mag.- 1970.-Vol.22, №176.-Р.1-6.Жаканбаев Е.А., Тулеушев Ю.Ж. Исследование влияния параметров магнетронного осаждения на сверхпроводящие свойства пленок нитрида ниобия// Тез. 7 межд.конф. «Ядерная и радиационная физика».-Алматы, 2007.-С.102-104.Жаканбаев Е.А., Тулеушев Ю.Ж. Исследование влияния параметров магнетронного осаждения на сверхпроводящие свойства пленок нитрида ниобия// Тез. 7 межд.конф. «Ядерная и радиационная физика».-Алматы, 2007.-С.102-104.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.